Оборудование

 

Установки ионного осаждения защитных, износостойких и триботехнических покрытий серии NanoARCmaster с вакуумно-дуговыми и/или магнетронными системами распыления:

1. Установка NanoARCmaster 900 для нанесения защитных и триботехнических покрытий на режущий инструмент и детали машин методом вакуумно-дугового испарения (управляемая дуга) и магнетронного распыления.

2. Установка NanoARCmaster 850 для нанесения защитных и триботехнических покрытий на режущий инструмент и детали машин методом вакуумно-дугового (управляемая дуга) испарения.

3. Установка NanoARCmaster 650SP для нанесения твердосмазочного антифрикционного покрытия на вкладыши подшипников скольжения тяжелонагруженных двигателей внутреннего сгорания методом магнетронного распыления.

4. Установка NanoARCmaster950 для нанесения защитных и триботехнических покрытий, проведения исследований в области технологий ионного осаждения с использование сбалансированных, разбалансированных и дуальных магнетронных распылительных систем, а также вакуумно-дуговых испарителей с управляемой и неуправляемой дугой.

 

Установки ионного осаждения защитных, износостойких и триботехнических покрытий на внутренние и внешние поверхности серии ФОРОС с вакуумно-дуговыми испарителями:

1. Установка ФОРОС с протяженным вакуумно-дуговым испарителем и вакуумно-дуговым цилиндрическим испарителем для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность деталей.

2. Установка ФОРОС с торцевыми вакуумно-дуговыми испарителями и вакуумно-дуговым цилиндрическим испарителем для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность деталей

3. Установка для нанесения аморфного селена на стеклянные заготовки размером до 370×430 мм с полупроводниковым покрытием для производства флэт-панелей цифровых рентгеновских аппаратов.

 

Вакуумные установки для проведения термоцикличесих испытаний и имитации космических условий.

1. Установка для проведения термоциклических испытаний при температурах от -70°С до +120°С с термостолом диаметром 500мм.

2. Термостол (от -70°С до +120°С) размером 1,6м×1,6м для высоковакуумной камеры объемом 16 м3 в комплекте с внешним трубопроводом (в транспортной упаковке) и емкостью с заправочной жидкостью.

 

Вакуумные установки для дегазации элементов космических аппаратов.

1. Установка объемом 1,5 м3 для дегазации кабельных сборок и радиотехнических приборов космических аппаратов.

2. Внутренние размеры вакуумной камеры Ф1100, Н1500 мм.

3. Термостол диаметром 800 мм и нагреватели обеспечивают равномерный прогрев изделий до 200°С.

4. Оптический пирометр для определения температуры изделия.

5. Масс-спектрометр для контроля остаточной атмосферы.

6. Откачная система на базе криогенных насосов  обеспечивает безмасляную  откачку до 1,33х10-4 Па (1,33х10-5 Па опция).

7. Вакуумная запорная арматура с электропневматическим приводом.

8. Установка объемом 16 м3 для дегазации крупных элементов космических аппаратов, в том числе на вращающемся термостоле.

9. Вращающийся термостол диаметром 2250 мм.

10. Нагреватели и термостол обеспечивают равномерный прогрев изделий до 200°С.

11. Точный контроль температуры изделий.

12. Автоматическое управление процессом с архивированием и записью на электронные и оптические носители.

 

Технологическое высоковакуумное оборудование общепромышленного назначения.

1. Вакуумные электропечи для осушки изделий ответственного назначения, пайки, контроля герметичности (габаритные и крупногабаритные).

2. Специализированные вакуумные стенды для испытания изделий.

3. Шлюзовые вакуумные установки, в том числе для осаждения покрытий на кремниевые и ситаловые подложки.

4. Изготовление вакуумных камер и вакуумных постов различного назначения с проверкой на герметичность, стандартных элементов вакуумных трубопроводов и вакуумной специализированной арматуры.

5. Разработка, изготовление PVD-устройств под заказ (вакуумно-дуговые испарители, магнетроны, ионные источники, генераторы металлического пара).

6. Программно-аппаратные комплексы для управления вакуумным оборудованием.


КОНТАКТЫ

Береговский Владимир Васильевич

Заместитель Генерального директора – Директор института технологии поверхности и наноматериалов

Тел.: +7 (495) 675-89-83

E-mail: EVTretyakov@cniitmash.com; SASchurenkova@cniitmash.com;

VVBeregovsky@cniitmash.com; itpn@cniitmash.ru; itpn@cniitmash.ru